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真空管式爐——1200度多工位旋轉(zhuǎn)管式爐

更新時(shí)間:2013-05-22    點(diǎn)擊次數(shù):8546

SK-G06123K-R SK-G06123K-2R
溫區(qū) 單溫區(qū) 雙溫區(qū)
zui高溫度 1200℃
加熱區(qū)長度 國產(chǎn)程420mm段程序
恒溫區(qū)長度 210mm 280mm
加熱元件 高電阻合金絲OCr27Al7Mo2
空爐升溫時(shí)間 <15min
額定功率 3Kw 3.2Kw
額定電壓 220V
溫度控制 國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編輯50段程序控溫;進(jìn)口程序控溫系統(tǒng)可編輯40段程序控溫;
控溫精度 ±1℃

石英管尺寸(mm)

Φ60x1000/Φ90x200mm Φ60x1000/Φ90x300mm
爐管材料 石英玻璃管
旋轉(zhuǎn)速度

0-20/S

傾斜角度 40°

爐管zui高工作溫度

<1200℃
配置爐管時(shí)升溫速度 500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min
外形尺寸(深x寬x高) 340x580x555mm
重量 75Kg
標(biāo)準(zhǔn)配置 氣路總成一套 (含真空壓力表)、石英管一支、石英堵兩個(gè)、鉤子一把、高溫手套一副
真空/氣氛總成配套(可選) 真空控制系統(tǒng): 中真空控制系統(tǒng)、高真空控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng);
氣路控制系統(tǒng):氣體浮子流量控制系統(tǒng)、氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng);
計(jì)算機(jī)集散控制系統(tǒng); CVD電爐系統(tǒng);

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